高純納米硅粉，是在電子級(jí)硅烷氣的基礎(chǔ)上向下游延伸的產(chǎn)品，采用自主開(kāi)發(fā)的熱CVD分解硅烷的方法，制備出的硅粉純度高達(dá)99.99%，粒度在20-100nm之間。并且實(shí)現(xiàn)200T/年的生產(chǎn)力，是國(guó)內(nèi)首條能產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)納米硅粉的生產(chǎn)線。