公司于2022年6月完成了集成電路高純四氟化硅氣體研發(fā)并全面投產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)能300噸高純四氟化硅氣體，純度高達(dá)99.999%，成為國(guó)內(nèi)第一家且唯一一家能夠大批次生產(chǎn)集成電路一高純四氟化硅氣體的企業(yè)。 高純四氟化硅（SiF4）作為電子工業(yè)重要原料之一，具有較高的氟硅比，是硅基半導(dǎo)體離子注入制程的關(guān)鍵成分，被廣泛應(yīng)用于光纖、半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)。